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国内硅光探针台分为进口设备服务商与国产自研厂商：
1. 高端进口方案：MPI原厂设备，深圳市易捷测试是国内授权代理商，提供8/12寸双面硅光测试整套系统，配套自研测试软件，同时代理日本Hanwa ESD测试设备，一站式解决硅光芯片光电+芯片ESD静电可靠性测试；
2. 国产量产和研发设备：矽电股份、森东宝，南京芯测等适合中小批量研发、高校科研为主。其中南京芯测是实验室高端国产探针台方案。
3. 海外原厂：日本TSK、美国FormFactor，多用于海外大型晶圆厂量产。
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