先进器件可靠性测试系统_可靠性测试设备_产品中心

Scorpio-ART是模拟用在先进尖端的尖端测试系统。表演级和封装级的CIH、BTI、TDDB和SILC模拟测试，可在同一平台下进行测试。

	MOSFET HCI、NBTI和Fast-OTF可靠性验证 Scorpio HCI/BTI 封装级可靠性测试系统，配备符合JEDEC标准测试要求，可实现MOSFET HCI, NBTI和OTF，先进精确的可靠性验证。 HCI/BTI 封装级可靠性测试系统，支持最多至288 个DUTs 的并行测试。先进直接对接，确保了准确的数据，且可在任何时间在同一系统中进行多个实验。
	ART – GOI/TDDB 晶圆级可靠性测试系统 Scorpio GOI/TDDB可靠性测试系统提供符合JEDEC测试要求的先进氧化物可靠性分析。 GOI/TDDB晶圆级可靠性测试系统附加的Fast-VTDDB和多电压级VSILC功能，允许连续应力偏置和短时间间隔的监测，实现晶圆级应用的高分辨率的击穿时间关系曲线。
	Scorpio ART – GOI/TDDB 封装级可靠性测试系统提供符合JEDEC测试要求的先进氧化物可靠性分析测试，可用在MOSFET和电容的VTDDB、VSILC和D/G应力分析。 GOI/TDDB封装级可靠性测试系统完整配置，支持并行测试最多达288 个 DUTs。先进的直接对接确保了准确的数据，且可在任何时间在一个系统中进行多个实验。符合JEDEC标准的测试 Fast-VTDDB和多电压极VSILC功能
	Scorpio ART GOI/TDDB 晶圆级可靠性测试系统　具有最高SMU要求的完整配置。提供符合JEDEC测试要求的先进氧化物可靠性分析测试，可用在MOSFET和电容的VTDDB、VSILC和D/G应力分析。

于 MPI 知名且成熟的 TS3000 和 TS3000-SE 300 mm 探针台，通过配置 MPI 独特的 WaferWallet 或 WaferWallet®®MAX 进行升级，增加了全自动功能。 MPI 的解决方案通过以低于其他供应商的半自动化产品的价格提供完全自动化来降低客户的总体测试成本。

它结合了MPI先进技术，如PHC™，作为标准功能，mDrive™和/或VCE™可选或作为现场升级。