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射频毫米波测试测量
可至110–170GHz D波段 负载牵引系统|矢量非线性网络综合测试系统
发布时间:2026-07-15


任意阻抗混合矢量非线性网络综合测试,基于MT2000&MT1000系列的有源负载牵引



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 超快速宽带微波有源芯片测试测量建模全套解决方案:

 当晶体管处于深度压缩并且其输出由多个谐波组成时,无法通过S参数正确描述器件行为,S参数是频域量。根据时域RF电压和电流波形分析被测器件(DUT)的行为更为自然。功率放大器的不同操作模式的理论描述提供了明确的证据,这完全在时域中完成。在这种情况下,非线性矢量网络分析仪(NVNA)可用于测量晶体管输入和输出的入射和反射的a波和b波,包括幅度和相位。然后,数据可以重建时域RF电压和电流波形以及RF负载线以及器件的所有传统性能参数, 易捷测试将集成Maury Microwave的MT4463大信号网络分析仪(LSNA)和MT2000混合信号有源负载牵引系统(MSALP)。MT4463 LSNA在2003年至2008年期间与安捷伦的网络测量和描述组一起提供.MT2000目前作为集成的非50Ω测量系统与Anteverta-mw一起提供。 


 为什么需要我们的系统解决方案?


现代通讯系统中通常使用的是宽带的调制信号,而这个调制信号本身的宽带特性对传统的射频测试系统特别是负载牵引测试系统提出来很大的挑战。宽带信号并不是点频,而是具有一定的带宽,这个带宽从几MHz到几十MHz不等甚至在未来可达数百MHz,在传统的射频测试系统中模拟的被测件的负载条件只能顾及比较窄的带宽甚至是点频,这与实际本身就存在差别,同时在普通的测试系统中被测件到模拟负载端面之间这段距离的测试路径上而且还包含了转接器,线缆以及探针引入的物理长度,这段物理长度引入的电延迟使得实际被测件端面看到的反射系数幅度特别是相位随着频率发生了较大的偏移,在宽带调制信号射频测试中,这个偏移值的典型值为3。每Hz左右,如果我们以信道宽度为25MHz的WCDMA信号为例,一个固定反射系数的负载在整个带宽范围内的相位偏差最大可达75度。这样在测试过程总模拟的负载的阻抗点离实际我所需要匹配的阻抗点偏离非常大,因此传统的窄带测试系统并不能真实地达到宽带调制信号射频测试的实际目的。


负载牵引系统在片系统结构:


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高功率 / 晶圆上配置结构:

有源回路是完全可重新配置的硬件,还支持 f0的源拉出和 f0,2 f0和3f0的负载拉出,或者 f0的真正差分源和负载拉出。 专有算法对环路放大器的要求很低,因此线性不再是这方面的问题,而它们的 psat 应该仅仅略大于被测设备产生的功率(dut)。

Maury MT2000F为业界顶配混合信号有源负载牵引主控系统,原生支持1MHz~67GHz超宽频工作,可无缝适配原厂NT系列毫米波调谐前端,快速拓展至110–170GHz D波段在片测试,实现高低频、超高频毫米波设备复用。设备集成宽带AWG信号发生、NVNA矢量波形分析与多环有源阻抗调控功能,替代多台分立仪器,大幅简化测试链路。其具备无史密斯圆图盲区阻抗覆盖能力,搭配1000组/分钟极速扫描效率,兼顾测试精度与效率。支持最大1000MHz宽带调制信号测试,可真实复现6G毫米波器件实际工作工况,精准表征EVM、ACPR等线性度指标。依托独家VRLP矢量接收架构,可完成高精度在片去嵌入,有效解决110GHz超高频链路损耗大、阻抗测算偏差问题,同时兼容脉冲测试、多谐波牵引及大功率宽禁带器件测试,适配毫米波芯片研发、验证与非线性建模全场景。


110G负载牵引


NanoTM 系列(NT-系列)自动阻抗调谐器,新增以下型号:

  • NT-110G-170G-1C - NANO 1C 调谐器,110-170GHz

  • NT-140G-220G-1C - NANO 1C 调谐器,140-220GHz

  • NT-170G-260G-1C - NANO 1C 调谐器,170-260GHz

  • NT-220G-330G-1C - NANO 1C 调谐器,220-330GHz


新型号增强了在 110-330GHz 范围内处理亚 THz 无源负载拉力、混合有源负载拉力和噪声参数解决方案的能力。新型 NT 调谐器能够轻松生成跨史密斯图各种负载和源阻抗条件,加上我们获得专利的闭环反馈电机控制,确保了卓越的测量精度和可重复性。
Nano 系列自动阻抗调谐器针对晶圆上的集成进行了优化。直接连接具有两个优势:最大化被测设备参考平面的驻波比和最小化被测设备参考平面的相位偏差。

NT 系列的其他特点和优势包括:

  • 结构紧凑、重量轻,可与晶圆上的探针站无缝集成

  • 与探针直接连接,可最大限度地扩大调谐范围并减少相位偏差

  • 无需外部探头支架、电缆和耦合器

  • 通过使转向元件更接近 DUT,从而最大限度地缩短传输线长度

  • 提供集成低损耗、高指向性耦合器的型号