深圳市易捷测试技术有限公司
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地址:深圳市福田区福虹路9号世贸广场C座1203室
全自动探针台|射频晶圆级测试探针台|8英寸探针台
探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域
TS2500-RF 射频测试探针台
适用于多种量产型晶圆级射频量测应用:
• 射频量测 - 至高 67 GHz & 4 埠
• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测量产可靠性
• 专为 24 / 7 稳定可靠的量产测试而设计
工效学设计及弹性选配:
• 简易便利的前门单晶圆上片设计
• 大面积工作台设计,可乘载至多 12x DC 或4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具
• 双晶圆拾取器和内建的晶圆预对准功能,有效提升产出
• 另有多种晶圆载物台和配件可做选择
• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
• 另有向上影像镜头可选配,协助探针 - 待测物对准
• 可选配薄晶圆处理选项
适用晶圆尺寸: | 100,150,200mm(4,6,8in) |
晶圆卡匣标准: | Semi E1 |
晶圆卡匣容量: | 2 |
第一片晶圆上片时间: | 50Sec |
晶圆交换时间: | 20Sec |
薄晶圆换片: | 智慧辨识晶圆拾取高度 |
适用晶圆厚度: | 一般晶圆和至薄50µm的薄晶圆 |
晶圆预对准: | 光学扫描,支持晶圆缺口和平边辨识 |
晶圆ID读取器(选配): | 影像辨识,可选配上方或下方镜头 |
卡匣槽位辨识: | 雷射辨识 |
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