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ZEISS 光学微光显微镜
探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于：WAT/CP测试、I-V／C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试（硅光、CMOS，SPAD传感器等）、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域
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产品特点：具有优化的操作理念。
拥有更高衬度和更高分辨率的新型光学系统。
基于“向前看”理念的升级设计。
保证稳定性和免震动工作的创新设计。
可选配使操作更加舒适的自动功能。
接触的人机工程学设计使操作使用变得简单无比
实现高品质和可在线数字图像的集成系统
系统规格参数：
光学系统 | ICCS光学系统 镜体：FEM设计 ACR位置编码 |
ICCS物镜 | 5X 10X 20X 50X 100X 可选1.25X、2.5X、150X |
目镜 | 10X/23 |
物镜转盘 | 研究级7孔或6孔明暗场万能物镜转盘 |
观察功能转盘 | 6－10位有预留位置便于日后升级 |
观察功能 | 反射光: 明场、ADF高级暗场、圆偏光、微分干涉、 荧光 透射光: 明场、ADF高级暗场、圆偏光、相衬 |
光源 | 12V、100W卤素灯,智能化光路管理器,光强自动可 调 |
光学附件 | 目镜测微尺，台尺，各种滤色片 |
数字化平台 | 可配图像分析系统(数码相机、摄像头、图像分析 软件) |
其它 | 可配加热台（用于高温金相分析） ，可配自动扫 描台 |
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