深圳市易捷测试技术有限公司
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地址:深圳市福田区福虹路9号世贸广场C座1203室
全自动芯片挑片分选机 WBS-300
探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域
功能:
挑片应用:wafer-wafer,wafer-tray,tray-wafer,tray to tray 之间的挑片。
自动上下料,设备按照输入的Mapping图及AOI检查判定产品,自动分拣芯片。
特点:
多功能全自动挑片系统,支持各类挑片方式
视觉定位系统,直线电机驱动:分拣精度高,速度快
AOI检查系统,挑片过程中检查芯片外观,自动识别形貌
Bond Force Control
支持对三五族,MEMS以及具备空气桥结构芯片的挑选,支持MPW
提供设备功能、治具定制及服务
Options:
2-step sorting:双分拣装置,分步挑片
Air Ejector:对应超薄产品,芯片厚度≥20μm
项目 | 规格参数 |
WAFER 尺寸: | 12inch Option:8inch |
TRAY 尺寸: | 2、4inch |
芯片尺寸: | 0.5x0.5mm~20x20mm Option:0.2x0.2mm~25x25mm |
芯片厚度: | ≥50μm Option:≥20μm |
放置精度: | ≤ ±30μm/≤ ±0.5° Option:≤ ±15μm |
分拣速度: | ≤ 1.0s/chip at 2x2mm Die |
设备尺寸: | 2500(W)x1900(D)x1800(H) mm |
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