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探针台| 12英寸半自动探针台|

探针台| 300mm 12英寸半自动探针台 TS3000，射频直流晶圆测试设备

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探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于：WAT/CP测试、I-V／C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试（硅光、CMOS，SPAD传感器等）、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域

产品概述

产品规格表

外形尺寸

MPI TS3000 半自动探针台

产品特点：

1，多种晶圆测量应用

模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV
射频、毫米波、负载拉移&4-port
-60 至 300 °C 之集成电路设计验证、失效分析
可靠性测试

2，高弹性量测平台

MPI IceFreeEnvironment™ 让用户即使是行使低温测试，也能同时使用微定位器与探针卡
可编程的显微镜滑台实现便利的自动化测试
实现电缆接口与集成电路测试仪器距离最短化
实现工作台─载物台距离最短化，是理想的毫米波量测和主动式探针架针平台
支援晶圆切后贴于模框之量测

3，工效学设计及弹性选配

简易便利的前门单晶圆/待测物上片设计
内建防震系统
完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作
安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)选配具自动进行露点控制功能
预留制冷机组空间，节省空间不占位
仪器架选配，可缩短射频电缆之架设长度，提供最高的量测机能

设备简介：

TS3000是一个300毫米自动测头系统，专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及 RF和mmW 应用而设计。

TS3000功能集提供：

最高温度范围-60…300°C
最大的灵活性
通过设计专用的电缆接口，与功能测试仪的最小电缆距离可实现更好的测量方向性
最小的压板到卡盘高度，以实现最佳的mmW和内部节点探测
最小的系统占地面积，在内部集成了热力系统的冷却器。两者的结合使TS3000探针台成为市场所独有产品。

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