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TS3000-SE 半自动300mm探针台

产品特点：

1，多种晶圆测量应用

模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
可靠性测试 - 精确的压力测试
先进的测试控制软件套件

2，ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量测环境，以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果
支援 fA 级超低噪 IV 量测
可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作
具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

3，工效学设计及弹性选配

简易便利的前门单晶圆/待测物上片设计
内建防震系统
完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量测操作
安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)
选配具自动进行露点控制功能
预留制冷机组空间，节省空间不占位
仪器架选配，可缩短射频电缆之架设长度，提供最高的量测机能

设备简介：

TS3000-SE是TS3000探针台系统的进一步开发，配备MPI ShielDEnvironment™，可实现超低噪声，极其精确和高度可靠的DC / CV，1 / f，RTS和RF测量，主要满足设备的需求表征，晶圆级可靠性以及RF和mmW 应用。独特的主动冷却探头压板设计可在-60°C至300°C的宽温度范围内提供最大的稳定性，使TS3000-SE探头系统成为在不同热条件下测试设备的绝佳选择。