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可靠性测试设备
全功能可靠性测试系统

全功能可靠性测试系统

深圳市易捷测试技术有限公司STAR全功能测试系统满足行业的可靠性测试需求,包括热载子注入(HCI)、偏压温度不稳定性(BTI)、OTF、时间相依介电质崩溃(TDDB)、电子迁移(EM )、应力诱导漏电
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探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域

产品概述
产品规格表
外形尺寸



STAR全功能测试系统满足行业的可靠性测试需求,包括热载子注入(HCI)、偏压温度不稳定性(BTI)、OTF、时间相依介电质崩溃(TDDB)、电子迁移(EM )、应力诱导漏电流(SILC)等等。

  • 全功能测试系统

  • 满足工程研发和生产需求


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系统组成:


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Gemini 全功能可靠性测试系统

是HCI、BTI、TDDB、SILC、电子迁移和应力迁移等全功能可靠性测试系统。

  • 先进的IVR-OSL测试系统

  • 高度可配置和订制系统


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Pluto All-in-one Per-Pin SMU 可靠性测试系统是一款高端全功能测试系统,适用在封装级与晶圆级测试,且涵盖HCI,BTI,OTF,TDDB 和 EM 等所有可靠性要求。

产品功能:

是次世代的可靠性测试系统,可提高工程和生产需求的测量精度和效率。


特点和规格:

  • Per-Pin SMU测量速度低至一微秒。

  • 完整的HCI、GOI 和 EM 全合一可靠性测试验证能力。

  • 支持最多960个per-pin SMU并行测试。





于 MPI 知名且成熟的 TS3000 和 TS3000-SE 300 mm 探针台,通过配置 MPI 独特的 WaferWallet 或 WaferWallet®®MAX 进行升级,增加了全自动功能。 MPI 的解决方案通过以低于其他供应商的半自动化产品的价格提供完全自动化来降低客户的总体测试成本。

它结合了MPI先进技术,如PHC™,作为标准功能,mDrive™和/或VCE™可选或作为现场升级。