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Keithely 4200A-SCS

Keithely 4200A-SCS

Keithely 4200A-SCS产品概要:4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的半导体参数分析仪,可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-
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探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域

产品概述
产品规格表
外形尺寸

Keithely 4200A-SCS

产品概要:

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的半导体参数分析仪,可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能很高的参数分析仪,4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。

基本信息:

I-V 源测量单元 (SMU)

● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

● 100 fA 测量分辨率

● 选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率

● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

● 四象限操作

● 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元 (CVU)

● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

● 1 kHz - 10 MHz 频率范围

● ± 30 V (60V差分)内置 DC 偏置源,可以扩展到 ± 210 V(420 V 差分 )

● 选配 CVIV 多功能开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换

脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

● 200 MSa/s,5 ns 采样率

● ±40 V (80 V p-p),±800 mA

● 瞬态波形捕获模式

● 任意波形发生器Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率

高压脉冲发生器单元 (PGU)

● 两个高速脉冲电压源通道

● ±40 V (80 V p-p),± 800 mA

● 任意波形发生器Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率

-V/C-V 多开关模块 (CVIV)I

● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或 抬起探针

● 把 C-V 测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针

远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

● 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

● 降低电缆电容效应

技术优势:

1、随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件,缩短测试开发时间

2、内置测量视频的仪器,测试视频由全球应用工程师提供,分为4种语言,缩短学习周期

3、pin to pad接触检查,确保测量可靠

4、多种测量功能

5、数据显示、分析和代数运算功能

6、专家视频,降低特性分析复杂度,观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频,迅速掌握应用,缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助,在发生意想不到的结果或对怎样设置测试存在疑问时,将为您提供指引。Clarius Software短专家视频支持四种语言(英语、中文、日语和韩语),可以迅速让你洞察先机。

7、大量随时可以使用的应用测试可供选择,通过Clarius库中装备的450多项应用测试,您=可以选择或修改预先定义的应用测试,加快特性分析速度,或从一开始简便地创建自定义测试。只需三步,Clarius Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。

8、实时结果和参数,自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能,加快获得所需信息的速度。不必担心数据丢失,因为所有历史数据都会保存下来。

9、无需示波器检验脉冲测量,脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数,确认脉冲式I-V测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V或波形捕获模式,进行基于时间的电流或电压测量,而无需使用外部示波器。

应用方向:

MOSFET, BJT 晶体管;材料特性分析;非易失性存储设备;电阻率系数和霍尔效应测量;NBTI/PBTI;III-V 族器件;失效分析;纳米器件;二极管和 pn 联结;太阳能电池;传感器;MEMS器件;电化学;LED和OLED。




4200A-SCS 仪器和模块

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提取或测量参数列表实例


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使用强大的 Clarius 软件,可以更加快速的完成 I-V, C-V 和脉冲 I-V 测试,结果清晰。


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