满足您在 CIS/ALS/ 光传感器晶圆级测试的所有需求
SG-O 是一款 CIS/ALS/ 光传感器晶圆测试仪，结合了高均匀度光源和半自动晶圆探针台。高均匀度光源可提供 400nm 至 1700nm 的连续白光光谱，并在多个不同波长下输出具有一定半高宽 (FWHM) 的单色光。
产品简介：
探针台可处理最大 200 毫米的晶圆尺寸和尺寸大于 1 厘米 x1 厘米的单颗晶粒。SG-O 整合了超低噪声热夹盘，可提供 - 60°C 至 180°C 的温度范围，并具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 满足您在 CIS/ALS/ 光传感器设计验证或制程良率检查中的所有需求。
产品特点：
高均匀度光源
宽广的光谱范围，涵盖紫外光至短波红外光。
高度均匀性，在 50 毫米 x50 毫米区域内均匀度优于 98%。
超稳定的光强度，10 < 小时内不稳定为 0.2%
高光强度动态范围，最高可达 140dB。
可编程自动探针台
可处理 200 毫米至 10 毫米晶圆或晶粒
适用于最准确可靠的直流 / 电容 - 电压、射频量测
稳定且功能齐全的显微镜系统
整合式硬件控制面板
自动晶圆载入器
教学式智慧晶圆图谱
宽温且低噪声夹盘
模块化夹盘
宽广的温度范围，从 - 80°C 到 180°C
先进的 CDA 温度控制技术
具备高升温速率和高温稳定性
超低噪声，适用于精确的 CIS/ALS/ 光传感器晶圆测试
产品规格：
SG-O 提供 CIS/ALS/ 光传感器晶圆测试所需的所有完整规格。以下是主要元件及其详细信息。如果您需要更多详细信息，请随时与我们联系！
高均匀度光源
光谱范围：400nm 至 1700nm
色彩对比温度：3000K 至 5200K
均匀照明面积：42mm x 25mm（200mm 工作距离处）>
照明均匀度：优于 98%
短期光源不稳定度：1 小时内 ≤ 1%
长期光源不稳定度：10 小时内 ≤ 1%
待测元件与最后光学元件之间的工作距离：≥ 200 毫米工作距离
单色光产生：
中心波长，半峰宽为 10nm： 420nm、450nm、490nm、510nm、550nm、570nm、620nm、670nm、680nm、710nm、780nm、870nm
中心波长，半峰宽为 25nm： 1010nm、1250nm、1450nm
中心波长，半峰宽为 45±5nm： 815nm
中心波长，半峰宽为 50nm： 1600nm
中心波长，半峰宽为 60±5nm： 650nm
中心波长，半峰宽为 70±5nm： 485nm, 555nm
中心波长，半峰宽为 100±5nm： 1600nm
带外透光率 ≤ 0.01%
带通区峰值传输 ≥ 80%
中心波长容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
FWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
可变衰减器：电脑控制，3 位数解析度，至少 1000 步进
晶圆尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片
晶圆处理：单晶圆，手动进料型
半自动化：一步手动对准教和自动模步进
XYZ 三轴平台
卡盘 XY 载物台行程：210mm x 300mm
卡盘 XY 平台分辨率：优于 0.5um
夹头 XY 平台精度：优于 2.0um
卡盘 XY 平台速度：最慢：10 微米 / 秒，最快：50 毫米 / 秒
Chuck Z 载物台行程：50mm
Chuck Z 平台分辨率：0.2um
夹盘 Z 轴平台精度：±2.0um
Theta 平台
Theta 载物台行程：± 5 度运动范围
Theta 分辨率：优于 0.01 度
Theta 精度：0.1 度
卡盘
卡盘平整度 ≤ 10um
卡盘热操作：-60°C 至 200°C
25°C 时的卡盘泄漏： 25°C 时在 10V 偏压下每个电压 ≤ 20fA
卡盘剩余电容 ≤ 95fF
探针卡
探针卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸长
探针卡座与压板之间的间隙：≥ 7.5mm
微型腔室
EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1 MHz 范围内 ≥ 30dB
系统交流噪声：≤ 5 mVp -p
微型定位器
显微镜
隔振台
光谱范围：400nm 至 1600nm
波长解析度：400nm 至 1000nm 增加步 < 长 1nm;1000nm 至 1600nm 增加步长 < 3.5nm
校准：NIST 可追溯校准证书
更多规格
SG-O 集成了ENLITECH的先进光模拟器技术和 自动探针系统。 提供多种光学选项，以满足使用者对 CIS/ALS/ 光传感器晶圆测试的要求，包括波长范围、光强度和均匀的光束尺寸。 可帮助客户解决 CIS/ALS/ 光传感器晶圆测试和设计变化的挑战。
系统设计
SG-O-CIS-wafer-level-tester-02_System-structure
SG-O CIS/ALS/ 光传感器测试仪（晶圆级）系统图。高均匀度光源由 PC-1 控制。光输出透过光纤导引至光学均匀器，以产生均匀的光束。显微镜和均匀器由 PC-1 控制的自动位移平台控制，以切换位置和功能。探针台系统为 MPI TS2000，由 PC-2 控制。夹盘平台的位置也由 PC-2 控制。热夹盘温度可在 - 55℃至 180℃之间控制，涵盖了大多数 IC 测试的温度范围。光强度由一个硅光电二极管和一个 InGaAs 光电二极管透过皮安培电流计测量和校准。
应用：
CIS/ALS/ 光传感器晶圆测试； | CIS/ALS/ 光传感器晶圆图谱和良率检查 | ToF 传感器测试 | 激光雷达传感器测试 | InGaAs 光电二极管测试 |
SPAD 传感器测试 | 光传感器类比参数测试： | 光传感器类比参数测试： | 量子效率 | 光谱响应 |
系统增益 | 灵敏度 | 动态范围 | 暗电流 / 噪声 | 信噪比 |
饱和容量 | 线性误差（LE） | DCNU（暗电流非均匀性） | PRNU（光响应非均匀性） |
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SG-O 系统的操作软件。对于高均匀度光源控制软件，SG-O 提供光源系统控制和光强度测量功能。提供 Labview 功能面板、个别光学元件的驱动程式 / DLL 档案。软件控制位移平台，以便分段照射大面积元件。整合链接包括发送 / 接收指令，例如开始晶粒步进、晶粒对准 / 探测，这些功能都已整合并提供。
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来自 SG-O 显微镜系统的 CIS / ALS / 光传感器晶片图像 |
CIS / ALS / 光传感器晶圆的探针卡安装图 | 
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SG-O-CIS-wafer-level-tester-24_-wafer-and-probe-card-contact-image
