深圳市易捷测试技术有限公司
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日本 Hanwa ESD 测试设备|HED-W5000M 晶圆ESD测试机
探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域
日本 HANWA ESD(静电放电)测试是在半导体可靠性测试期间进行的。ESD测试对于半导体设计的开发和半导体制造的最终生产过程中的质量保证都是必不可少的。
最先进齐全半导体ESD测试实验室常备设备解决方案。该系列设备测试包括人体模型(HBM)、机器模型(MM)、充电设备模型(CDM)、传输线脉冲(Normal&VF TLP)和闩锁测试(Latch-up)、系统级静电放电模式(ESD GUN)
1)HBM、MM、Latch Up测试设备解决方案
测试符合国际标准-JEDEC、ESDA、AEC、JEITA....
HBM:10V-8KV step 5V
MM: 10V-4KV step 5V
Latch Up: 100/1A, 35V/1A
Latch Up: JESD78 with Vector Option
Vector:10MHz max, 0.5-5V,256K depth
Pin count:256pin
Dut V/1 Supplies Max8:100V/1A、35V/1A、1A/100V
2)TLP测试设备/传输线脉冲发生器
TLP test model:TDR(Time Domain Refection)
Pulse Voltage: Max+/-2000V(0.1V/step)
Pulse Current: Max.40A
Pulse Width:100ns
Pulse rise time:200ps/2ns/10ns/20ns/50ns
现在可以对封装和晶圆进行 ESD 测试!

HED-W5000M 晶圆ESD测试机
l 价格适中的多功能手动晶圆级测试仪。
l 专用软件可用于泄漏测量和判断。
l 适用于大多数类型的手动探针台。
功能特点:
1. 可显示真实设备的 ESD 波形 2. 可在放电后自动对 V/I 测量值进行破坏性评估,性价比极高。 3. 执行 HBM/MM 电晕(符合 JEDEC/ESDA/JEITA)。 4. 用两根针连接任何设备,如晶圆。 5. 可在客户的手动 PROBER 上安装斩波装置。 6. 包装设备的测试结果一目了然。 |
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操作屏显示案例:
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此设备是可以在Wafer level上进行HBM,MM测试的设备
| 产品名/型号 | 设备说明 |
|---|---|
![]() HED-W5100D | 全自动 Wafer ESD测试机从LED到系统LSI的大口径Wafer,可适用于HBM和MM的放电 |
HED-W5000M | 高性能半自动Wafer level ESD测试机通过操作探针座,可以轻松地决定两个管脚之间的位置 |
![]() HED-W5000M-SP0 | Low Cost Wafer ESD Tester低成本、高性能 |
![]() HED-W5000M-WFC | Wafer level ESD测试机在对集成电路中保护电路工作参数的收集与分析上,虽然TLP测试机起到了很大的作用,但是在半导体制程细微化的发展中, 为了提高对ESD的抵抗性,保护电路需要更快的研发速度 |
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