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EMMI微光显微镜|EMMI微光显微成像系统
探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于：WAT/CP测试、I-V／C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试（硅光、CMOS，SPAD传感器等）、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域
EMMI（Electron - Beam - Induced Current Microscopy）失效分析测试系统（主要用于半导体器件和集成电路的失效分析）。
基于实验室的独立直立分析显微镜系统
产品简介：
GBIT-EMMI-S1100,是一款卓越的微光显微成像系统，通过使用探测器探测电路发出的微光子和激光刺激引起回路电信号变化来定位电路的失效点并通过图像的方式呈现出来。
通过NIR红外线偏光显微镜对芯片进行BACK SIDE穿透分析
正面及背面光子发光侦测功能
满足Si CMOS,GaAs pHEMT、等失效芯片的漏电检测。
功能特点：
用于晶圆，晶圆零件和封装设备的背面和前边分析
超稳定系统兼容用于探测FIB垫的系统
与第三方探测站，探测卡和操纵器兼容
高分辨率阶段，可重复性0.5μm
平面折射固体浸入式透镜（ARSIL）选项，目前正在探测3NM节点
CAD接口选项
技术包括：激光正时探针（LTP），具有最佳灵敏度的扫描光学显微镜（SOM）（静态：Tiva，Obirch，动态：Lada，SDL）
具有各种选择的光子发射显微镜（PEM）:(InGaAs或SI-CCD相机；带有INSB摄像机的热显微镜（THM）
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