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Keysight 半导体参数分析仪| B1500,B1505A

Keysight 半导体参数分析仪| B1500,B1505A

易捷测试携手是德科技供应晶圆级测量和表征综合系统解决方案
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探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域

产品概述
产品规格表
外形尺寸



B1500_F_TRANS_SHAD

B1500A_R_WGFMU_1600X900

B1500_FL_TRANS_SHAD_2016April13

B1500A_FR_TRANS_SHAD

B1500A_FT_TRANS-SHAD_900x1600


半导体参数分析仪特点

一台半导体参数分析仪抵得上多种测量仪器

Keysight B1500A 半导体参数分析仪是一款一体化器件表征分析仪,能够测量 IV、CV、脉冲/动态 IV 等参数。 主机和插入式模块能够表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件。 B1500A 模块化体系结构可以根据需要灵活升级。


  • 可以在 CV 和 IV 测量之间快速切换,无需重新连接线缆

  • 能够捕获其他传统测试仪器无法捕获的超快速瞬态现象

  • 能够检测 1 kHz 至 5 MHz 范围内的多频交流电容测量值

  • 配有直观的 15 英寸触摸屏界面,无需借助外部计算机,即可进行数据分析

  • 一台 B1500A 主机中拥有多达 10 个插槽,您可以灵活选择为其配备的测量模块

  • 使用界面直观的 EasyEXPERT group+ 软件,享受 15 英寸宽触摸屏的便捷体验

产品特点:

1)广泛的工作条件与精密测量功能相结合

  • 适合功率器件表征的综合解决方案,高达 1500 A 和 10 kV

  • 中等电流测量和高电压偏置(例如,500 mA,1200 V)

  • μΩ 导通电阻测量功能

  • 高电压偏置时,可进行精确的 sub-pA 电平电流测量

  • 在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 温度范围内进行全自动热测试

2)广泛的器件测量功能

  • 可在高达 3000 V 直流偏时执行全自动电容测量(Ciss、Coss、Crss 等)

  • 10 μs 高功率脉冲测量

  • 封装器件和晶圆上 IGBT/FET 栅极电荷测量

  • 高电压/强电流快速切换选件,适用于 GaN 电流崩塌效应表征

  • 多达 5 个高电压(3 kV)电源/测量通道,提供最大的灵活性

  • 通过互锁测试夹具执行安全的与温度相关的测试

3)改进的测量效率

  • 在高电压和强电流测量之间自动切换,无需重新布线

  • 自动测试电路形成,可用于封装器件和晶圆上器件的晶体管结电容(Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等)测量

  • 具有互锁机制的标准测试夹具,可进行封装功率器件测试

  • 支持高达 200 A 和 10 kV 的高功率晶圆上测试

  • 示波器视图支持对应用电压和电流波形的验证

  • MS Windows EasyEXPERT 软件简化了数据管理和分析流程

4)可升级和可扩展的硬件体系结

  • 广泛的测量模块选择

  • 支持具有高达 6 个连接引脚的高功率器件



Keysight B1505A 功率器件分析仪/曲线追踪仪是唯一能够对 sub-pA 电平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件进行表征的综合解决方案。这些功能能够对最新的器件(例如 IGBT)和材料(例如 GaN 和 SiC)进行测量。B1505A 支持各种模块:高电压 SMU(HVSMU)、强电流 SMU(HCSMU)、超强电流(UHC)模块、超高电压(UHV)模块和高电压中等电流(HVMC)模块。B1505A 还支持:高功率 SMU(1 A/200 V)、中等功率 SMU(100 mA/100 V)、中等电流 SMU(1 A/30V 脉冲,100 mA/30V 直流)和多频电容测量单元(1 kHz – 5 MHz)。B1505A 的 10 插槽模块化主机支持您对其进行配置,以满足您的测量需求。

它还可以在高电压偏置(高达 3000 V)时执行全自动电容测,例如 Ciss、Coss 和 Crss,也可以轻松地测试高频开关转换器的另一个重要参数——栅极电荷。还支持在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 温度范围内进行自动热表征。

B1505A 软件环境以 Microsoft® Windows® 7 操作系统基础,包括曲线追踪仪,支持用户检测器件特征和探测器件故障。如同使用曲线追踪仪一样,B1505A 提供旋钮控制可变扫描功能,可对参数(例如击穿电压)进行实时测量。B1505A 还提供“示波器查看功能”,可直观地帮助操作人员优化应用于器件的电压和电流。测量设置信息和数据可自动存储到 B1505A 的内置硬盘,并复制到 USB 闪存和其他便携存储器件。将器件测量结果汇总之后,测量数据可轻松复制到工程报告中。

强大的测试夹具解决方案对于确保操作人员安全(由于生成的高电压和强电流)和支持各种功率器件封装类型极为重要。以前的传统曲线追踪仪受功率器件大小的限制,无法对某些功率器件行测试,而且有时为了测试某一器件必须临时装配适配器。然而不论器件的大小或形状如何,B1505A 的测试夹具可连接各种器件,例如功率 MOSFET、二极管和 IGBT 等。这可以通过大型测试夹具适配器和定制的测试夹具模块来实现。此外,测试夹具的内置互锁机制可确保在测试器件过程中安全地应用高电压和强电流。

是德可提供一个转换套件,使现有的 B1500A 用户将其 B1500A 主机转换为 B1505A 主机。这使当前的 B1500A 用户能够以较低的成本扩展现有仪器的电压和电流测量功能。