深圳市易捷测试技术有限公司
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高端场扫描电镜
探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域
拥有高品质成像和先进分析功能的场发射扫描电子显微镜 Sigma 系列
Sigma 系列产品将场发射扫描电子显微镜技术与良好的用户体验紧密地 结合在一起
利用 Sigma 直观的 4 步工作流程,可轻松实现构建成像和分析程序,提高工 作效率。您可以在更短的时间内采集到更多数据。Sigma 可以搭载多种探测器, 以满足不同应用需求:颗粒物、表面结构、纳米结构、薄膜、涂层及多层膜等样品成像。
Sigma 300 具有非常高的性价比;
Sigma 500 因其出色的 EDS 几何学设计,拥有出众的分析性能。
在单个探测器中获取形貌和成分衬度信息。使用 aBSD 在 5 kV 和高真空条件下对太阳能电池成像,左:成分衬度模式,右: 形貌模式。 | 高效直观的 Sigma 4 步工作流程 | 先进的 EDS 几何学设计加速了 X 射线的分析。 |
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