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东京精密TSK探针台
全自动探针台| 东京精密TSK探针台|FAB厂常用探针台UF3000EX

全自动探针台| 东京精密TSK探针台|FAB厂常用探针台UF3000EX

Accretech UF3000系列 全自动探针台,采用与UF3000EX同样的基本结构。高精度、低成本、高性能的探针台。
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探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域

产品概述
产品规格表
外形尺寸

Accretech UF3000系列 全自动探针台,采用与UF3000EX同样的基本结构。高精度、低成本、高性能的探针台。


自动晶圆探测机(以下简称探测器)UF3000EX-e的设计具有以下特点,用于LSI和VLSI。


●应用于大直径晶圆(φ300 mm,高达12英寸)

●自动操作系统

●清洁环境

●高精度探测

●高通量

●低振动

●高刚度级多位点探测

  • 高吞吐量

  • 高精度

  • 低振动

  • 最佳接触,

  • 方便快捷的操作

  • 兼容性



采用新开发的专有XY驱动系统,实现了高速,低振动。
与现有产品相比,考虑到环境因设计变化而实现的占地面积小,功耗降低10%


  • 从高温到低温采用的测试环境

  • 用于测试头的铰链式机械手

  • 低噪音测试环境

  • 高压测试环境

  • 种类繁多的网络环境

  • 针道检查功能