深圳市易捷测试技术有限公司
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Pulsed IV/ Auriga高压脉冲PIV系统(1200V与2000V)
探针台|全自动探针台|硅光晶圆测试系统|半自动探针台|手动探针台|国产探针台|Hanwa ESD/ TLP测试仪|CDM测试机|晶圆级ESD测试仪|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性测试设备、满足实验室研发和晶圆厂量产的多种需求。广泛应用于:WAT/CP测试、I-V/C-V测试、RF/mmW测试、高压/大电流测试、在片wlr、在片老化burning、高低温测试、光电器件测试(硅光、CMOS,SPAD传感器等)、晶圆级失效分析、芯片ESD测试、半导体工艺可靠性验证、封装测试等领域
Focus Auriga PIV 1200V和2000V(PHD1200-100)高压脉冲 IV 系统
PHD1200和PHD2000采用先进的脉冲电路技术,可实现晶体管动态导通电阻的精确测量,具有无与伦比的速度、精度和分辨率。配合AU-5脉冲I-V/射频系统使用,这一紧凑型解决方案可提供卓越的性能。
特性与优势:
PHD1200和PHD2000支持行业最先进的大功率器件,借助组件和脉冲电路技术的突破,实现了无与伦比的速度、精度和分辨率。这些系统能够对最新晶体管的动态导通电阻进行精确测量。与AU-5脉冲IV/RF表征系统配合使用,这一紧凑且多功能的测试解决方案可模拟真实环境条件,以卓越的性能、极高的精度和速度提供测试结果。
产品功能与应用:
一、硬件基础核心参数对比(PHD1200-100 / PHD2000-100) 两款均适配AU4850 / AU5主机,脉冲峰值电流统一100A、瞬时脉冲功率5000W、最小脉宽750ns、三态脉冲架构、Auriga MEM高精度采集,核心差异仅漏极耐压与高压配套方案:
| 项目 | PHD1200-100配置 | PHD2000-100(2000V 配置) |
最大漏极脉冲电压 | 1200V | 2000V |
标准高压接口 | SHV 高压接头 | 特规超高耐压 SHV / 高压同轴 |
适配器件击穿区间 | 600V~1200V | 1200V~2000V |
配套夹具 / 探针台 | 通用高压探针台 | 定制 2kV 绝缘探针、高压屏蔽腔体 |
典型测试链路 | 高压脉冲 IV + Delta 0.7–110GHz 谐波调谐器 | 超高压功率器件 IV,少量搭配毫米波大功率牵引 |
二、两款共通核心功能
1. 等温无热失真脉冲IV全域扫描
纳秒窄脉冲、极低占空比,彻底消除大功率器件自热,分离热效应与本征电学特性;同步扫描Ids-Vds、转移特性、动态Rds(on)、击穿电压Vbr、饱和电流Isat;三态预脉冲主动激发电荷陷阱,定量表征GaN/SiC电流崩塌、色散效应。
2. 高压器件SOA安全工作区测绘
脉冲瞬时高压大电流扫描极限Vds-Id边界,区别于长时间DC高压源,大幅降低高压芯片击穿报废风险,评估浪涌、尖峰、动态击穿耐受。
3. 原生联动毫米波谐波负载牵引(射频方向核心)
高压脉冲偏置+Delta无源多谐波调谐器联动,完成高压毫米波GaN功放等温大信号测试;测Pout、PAE、线性度、压缩点;支持混合有源负载牵引仿真雷达/卫星脉冲射频工况,支持晶圆片上CP探针批量测试。
4. 宽禁带器件大信号模型精准提取
输出纯净等温IV数据集,构建高压GaN/SiC Angelov、EEHEMT紧凑模型;分离热/陷阱参数与射频动态参数,提升高压功放、电力电子开关电路仿真精度;适配晶圆WAT工艺监控、建模数据库批量采集。
5. 动态可靠性加速测试
支持HCI热载流子、BTI偏置温度、TDDB栅氧击穿脉冲老化;高压动态应力循环监测Ron退化、陷阱恶化;脉冲浪涌、短路耐受验证车载、军工器件长期稳定性。
6. 脉冲S参数联合表征(选配AU5-RF射频模块)
高压脉冲偏置下同步采集小信号S参数,同时获取器件高压瞬态开关特性与射频放大特性。
7. MEM高精度测量增强模式
电流测量精度达满量程0.01%,高压低电流漏电流、微小导通损耗可精准分辨,高低温环境下测量稳定性不受温度漂移干扰。 #
三、PHD1200 1200V专属功能与应用方向
专属定位
覆盖**600V–1200V**宽禁带器件,射频毫米波与新能源电力电子双线并重,是高压测试实验室主流通用高压配置。
1)电力电子功率半导体应用:
1200V SiC MOSFET、SiC肖特基二极管:800V车载主逆变器、高压OBC车载充电机、光伏/储能PCS变流器、大功率直流快充模块动态损耗、开关瞬态测试;
600–1200V级Cascode级联常开GaN HEMT:工业等离子射频源、高频感应加热、大功率快充氮化镓器件陷阱与动态Ron标定;
风电变流器、工业变频器1200V功率器件SOA边界、批次良率CP/WAT筛选。
2)军工毫米波射频大功率器件(搭配Delta 0.7–110GHz调谐器核心场景
60–110GHz E/W波段高压GaN毫米波功率管:机载/舰载远程脉冲雷达、电子对抗ECM大功率发射芯片;
高轨通信卫星固态高压功放:谐波负载牵引优化峰值功率、PAE;
气象探测雷达、远距离脉冲探测发射模块脉冲工况仿真验证。
3)科研与第三方检测
高校宽禁带半导体陷阱物理、自热耦合机理研究;
第三方实验室1200V SiC/GaN来料认证、失效分析、竞品对标。
四、PHD2000 2000V专属功能与应用方向
专属定位 覆盖1200V–2000V超高压功率器件,以电力电子为主、军工超高压射频为辅,属于高端特种高压测试配置,通用场景极少使用。
1)超高压新能源/电网电力电子(核心应用)
1700V/2000V SiC MOSFET、SiC IGBT:大型地面光伏1500V直流组串逆变器、陆上/海上风电大功率变流器、高压储能电站、电网级柔性直流换流阀器件动态特性测试;
轨道交通牵引变流器2kV级功率半导体:机车牵引模块脉冲IV、开关损耗、长期应力老化验证;
高压工业电源、特种高压脉冲发生器功率开关器件极限耐压与短路耐受测试。
2)特种军工超高压射频器件(小众高端)
2kV级高压脉冲射频功率管、大功率脉冲雷达发射源器件:远距离深空探测雷达、大功率脉冲电子对抗发射机;
超高压高压级联毫米波功放(极少):搭配定制高压隔离Delta调谐器,仅限特种军工院所。
3)前沿新材料科研 新型2kV以上超宽禁带器件(氧化镓Ga₂O₃)、碳化硅/金刚石复合功率器件基础电学特性、陷阱、击穿机理实验室研究。
4)高压工业装备 半导体刻蚀大功率高压射频源、大功率高压感应加热设备内部2kV功率晶体管动态IV表征。
五、产品总结
PHD1200(1200V)推荐选择应用:
1. 800V车载、650V/1200V快充GaN、1200V SiC车载/光伏储能;
2. 24–110GHz毫米波高压GaN雷达、卫星功放谐波负载牵引;
3. 高校通用宽禁带研发、第三方常规半导体检测、晶圆厂高压CP量产测试。
PHD2000(2000V)推荐应用场景:
1. 1500V光伏、风电、电网柔性直流、轨道交通2kV级SiC功率器件;
2. 氧化镓等2kV以上超高压新材料研发;
3. 特种超高压军工大功率脉冲雷达、大型工业高压射频装备;
4. 器件额定击穿电压>1200V,1200V系统无法覆盖安全测试区间。
补充说明:
1. 2000V系统对测试环境绝缘要求极高,必须配套2kV高压探针、屏蔽绝缘腔体、专用高压测试线缆,不能与1200V低压高压配件混用;
2. 两款脉冲头硬件可在同一AU主机上互换,只需更换脉冲头、配套高压配件与软件电压量程配置;
3. 两款均为**单极性漏极脉冲**,栅极统一支持±30V双极性脉冲独立调控。