深圳市易捷测试技术有限公司
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Maury MT2000F 混合信号有源负载牵引主机核心优势
一、全频段原生覆盖,毫米波扩展兼容性强
1. 本机标准频段 1 MHz~67 GHz,是商用一体化有源负载牵引最高原生频率,完整覆盖Sub-6G、24/28/40GHz毫米波应用。 2. 原生支持与Maury NT系列WR6.5波导无源调谐器联动,可搭建110–170GHz D波段混合有源在片负载牵引系统,一套主机兼顾中高频与超高频毫米波晶圆测试,设备复用率高。
3. 支持基频、2次/3次谐波、基带同步阻抗调控,实现多谐波联合负载/源牵引,适配GaN、InP、硅光器件非线性表征。
二、混合信号一体化集成,替代多台分立仪器
单台主机整合矢量信号源、NVNA波形分析仪、多环有源调谐、脉冲偏置控制、矢量接收机,省去传统测试台多台仪器级联、同步校准难题:
- 内置AWG宽带调制发生、时域电压电流波形采集;
- 无需额外搭配VNA、VSG、示波器,链路简化、线缆损耗与同步误差大幅降低;
- InsightPro统一管控射频、直流、毫米波前端、探针台全链路,自动化程度高。
三、无盲区阻抗覆盖+超高扫描速度,测试效率碾压传统无源调谐
1. 无史密斯圆图覆盖限制:纯有源矢量注入架构,不受机械调谐器插损、行程约束,全圆图任意Γ值精准合成;搭配NT毫米波调谐器形成**混合有源架构,无源预匹配降低有源注入功率,110GHz等高损耗频段仍可实现高驻波阻抗覆盖。
2. 极速阻抗扫描:最高1000组阻抗/功率状态每分钟,对比机械无源调谐提速数十倍,大批量等高线扫描、模型提取周期大幅缩短,加速芯片迭代上市。
3. 阻抗精度优异:幅度分辨率0.01dB、相位0.1°,调制带宽内全频点阻抗同步锁定,真实复现宽带信号下天线动态负载。
四、1000MHz超大调制带宽,真实工况射频线性度测试
1. 硬件最大瞬时调制带宽1000MHz,支持5G/6G宽带载波、多音、高峰均比调制信号;内置自动预失真算法,在DUT参考平面输出纯净调制波形,精准测量EVM、ACPR、频谱模板等线性指标。
2. 独有基带阻抗终端控制能力,可仿真功放低频记忆效应,精准评估宽带PA线性改善方案,是无源调谐系统不具备的核心能力。
3. 兼容单音CW、脉冲射频、双脉冲陷阱测试、脉冲直流偏置,完整捕获GaN器件热效应、载流子陷阱动态特性。
五、VRLP矢量接收测量架构,毫米波在片测量精度更高 采用矢量接收机负载牵引技术,直接采集DUT参考面入射/反射a/b波,区别于传统依靠S参数推演阻抗的标量方案:
- 自动完成TRL/LRM在片去嵌入,消除探针、波导、线缆延时与损耗误差;
- 搭配110GHz NT波导调谐前端时,解决超高频链路损耗大、阻抗测算失真痛点,晶圆级测试数据可信度显著提升。
六、高功率适配,兼容千瓦级GaN器件测试
混合有源架构平衡无源预匹配与有源精细调控,大幅降低大功率场景所需注入射频功率,支持千瓦级氮化镓功放基波+谐波负载牵引,避免纯有源系统高功率下注入功率不足、纯无源调谐谐波隔离差的短板。
七、软件生态完整,适配器件建模与自动化产线
1. InsightPro内置毫米波扩展模块MMW-STUDIO,一键完成D波段110GHz系统校准、阻抗轮廓绘图、非线性紧致/行为模型自动提取;
2. 支持高低温探针台、自动化晶圆测试产线对接,批量完成功率、PAE、增益、噪声、线性度全参数自动采集;
3. 统一兼容Maury全系无源调谐器、扩频模块、偏置硬件,无第三方设备联动适配问题,整套方案原厂闭环。
精简总结
MT2000F作为Maury顶配混合信号有源负载牵引主机,原生1MHz–67GHz宽频覆盖,可无缝扩展至110–170GHz D波段;一体化集成信号发生、NVNA波形采集与多环有源阻抗调控,无史密斯圆图盲区、千点每分钟极速扫描;支持1000MHz宽带调制与基带终端控制,搭配VRLP矢量测量技术大幅提升毫米波在片精度,兼顾大功率谐波牵引与全自动器件建模,是6G毫米波、硅光、宽禁带芯片研发的一站式主控平台。 需要我把这段优势压缩成300字内方案简介,直接放进110GHz在片系统方案文档吗?
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