半自动探针台|高功率探针台| TS3000-HP

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产品简介:

TS3000-HP 是 MPI 新的专用探针台,用于在宽 -60°C 至 +300°C 的温度范围和宽 3 kV (三轴) / 10 kV (同轴) 和 600 A 测量范围的晶圆#HighPower 对高功率芯片特性进行测试。该系统可以选择在薄晶片或TAIKO晶圆上进行测试。并为超低噪声测量集成了MPI的 SHIELDEnvironmentTM和WAFERWALLET 。


产品特点:



专为高压、高电流应用而设计


•  在晶片大功率设备上测量高达10kV/600A

•  镀金卡盘表面的最小接触电阻和真空孔优化的薄晶 圆处理至50µm

•  Taiko晶圆壳牌选项

•  专用的高压、高电流探头

•  抗弧解决方案

MPI屏蔽环境™ ,用于精确测量


•  为高级EMI/RFI/光紧屏蔽而设计

•  FA低泄漏能力

•  准备好适应温度范围-60°C至300°C

人体工程学设计与安全


•  简单的晶圆或单个DUT加载从前面

•  监管部门批准的安全联锁灯帘来保护用户

•  集成式主动隔振装置

• 完全集成的支撑器控制, 以实现更快、更安全、方 便的系统和测试操作

•  安全测试管理 (STM™) 选项,可在任何吸管温度下 加载/卸载晶圆和自动露点控制



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