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成交案例
易捷测试交付12英寸晶圆级半自动光耦合探针台系统
发布时间:2026-04-27

易捷测试为海南大学成功交付12英寸晶圆级半自动光耦合探针台

产品型号:MPI TS3500搭配SiPH套件,

解决方案说明:专业面向12英寸晶圆级自动光耦合测试。


光耦合探针台解决方案核心介绍:


工业级性能,科研级预算:


海南大学选择与易捷测试合作,主要核心驱动力是教学与科研双重需求,能够以合理的投入获得半导体光电器件研究的先进实验平台。TS3500以"工程级精度+科研级灵活性+高校可承受成本"的组合,成为硅光/光电子领域高校研究的性价比最优解——既能完成精密光耦合测试,又不至于让预算压力大,同时为后续更高阶研究预留升级空间。是多所知名高校已实证的可靠方案。

深圳市易捷测试技术有限公司(简称:GBIT):
专注高中端半导体晶圆级在片测试系统集成,聚焦单/双面硅光、射频、毫米波与失效分析、先进封装器件测试领域,为头部芯片企业、科研院所及高端研发实验室提供定制化、高可靠交钥匙解决方案。公司以自主 GBITEST 系列软件为核心,深度整合国际顶尖探针台与测试仪表,打造全自动高低温、光电协同、多仪表一体化测试平台,以技术深耕、专业交付与闭环服务,成为高中端半导体测试领域值得信赖的首选合作伙伴

MPI Corporation :
1995 年成立于台湾新竹,是全球高端晶圆探针台的技术领导者和制造商。MPI专注高端探针台与晶圆测试设备研发制造,以精密机械、电控、温控与射频集成能力为核心,打造TS2000/TS3000/TS3500 等工程级探针台。MPI具备亚微米定位、宽温无霜、低噪声低漏电、高频低损耗等硬核制造实力,支持全自动批量测试与灵活升级,广泛适配先进 IC、硅光、射频毫米波、功率器件测试,是全球高端研发与验证的标杆设备厂商。

海南大学:
  1958年创办, 海南大学(Hainan University)是海南省唯一的国家“211工程”重点建设高校,入选国家“双一流”建设高校(世界一流学科建设高校),由教育部与海南省人民政府共建,是海南省综合实力最强的高等学府。

GBITEST+MPI:

MPI TS3500 高精度探针台与 GBITEST 硅光测试软件深度融合,实现探针台、光开关、光源、功率计、源表等全仪表一站式联动。支持自动光纤耦合、L‑I‑V、波长域、射频 S 参数、眼图等全流程测试,拖拽式流程、MAP 图联动、断点续测,大幅提升硅光芯片测试效率与数据一致性,打造交钥匙级全自动硅光在片测试解决方案。



  • MPI TS3500 以其模块化设计、高精度运动控制、灵活的探针配置和宽温度测试能力,成为半导体研发、产品工程和 RF/millimeter-wave 测试领域的理想选择。系统集成了先进的人体工程学设计、主动振动隔离和安全管理系统,配合直观的 SENTIO® 软件平台,可显著提升测试效率并降低操作复杂度。

  • TS3500探针台为光耦合测试提供了基础定位系统:

>晶圆级粗定位:通过高精度XYθ载台(310×530mm行程/±5°旋转/0.5μm分辨率)实现光芯片与光纤阵列的初步对准

>Z轴精细调节:30mm行程Z轴(0.2μm分辨率)控制耦合间距

>显微镜辅助:三轴可编程显微镜(50×50mm行程/1μm分辨率)用于观察耦合点

  • SIPH光学耦合套件 - 让TS3500探针台瞬间升级为「光电混合测试系统」,无缝兼容12英寸晶圆级光芯片测试,解决高校/研究所最头疼的光-电协同测量难题。