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MPI probe station
全自动探针台|射频测试专用自动测试探针台TS2500-RF

全自动探针台|射频测试专用自动测试探针台TS2500-RF

TS2500-RF射频测试探针台​专用于射频(RF)生产测试的全自动探针系统。该系统与所有MPI系统附件兼容,专为满足生产级高级RF 设备测试的需求而设计。
Customer service

* The same model of product may have multiple versions, and there may be differences between different versions of the product (including functional parameters, logo design, appearance details, product information, etc.). Please refer to the actual product for accuracy

Product Overview
Product specifications
External dimensions

MPI TS2500-RF 射频测试探针台

 

适用于多种量产型晶圆级射频量测应用:


• 射频量测 - 至高 67 GHz & 4 埠
• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测量产可靠性
• 专为 24 / 7 稳定可靠的量产测试而设计


工效学设计及弹性选配:


• 简易便利的前门单晶圆上片设计
• 大面积工作台设计,可乘载至多 12x DC 或4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具
• 双晶圆拾取器和内建的晶圆预对准功能,有效提升产出
• 另有多种晶圆载物台和配件可做选择
• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
• 另有向上影像镜头可选配,协助探针 - 待测物对准
• 可选配薄晶圆处理选项



适用晶圆尺寸:

100,150,200mm(4,6,8in)

晶圆卡匣标准:

Semi E1

晶圆卡匣容量:

2

第一片晶圆上片时间:

50Sec

晶圆交换时间:

20Sec

薄晶圆换片:

智慧辨识晶圆拾取高度 

适用晶圆厚度:

一般晶圆和至薄50µm的薄晶圆

晶圆预对准:

光学扫描,支持晶圆缺口和平边辨识

晶圆ID读取器(选配):

影像辨识,可选配上方或下方镜头

卡匣槽位辨识:

雷射辨识






2500RF尺寸图