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MPI probe station
手动探针台|MPI 6英寸太赫兹探针台TS150-THz

手动探针台|MPI 6英寸太赫兹探针台TS150-THz

TS150-THZ是全球首个150 mm专用探针台系统工作站,专为mmW和THz晶圆上测量而设计,最高可达1.5 THz及以上
Customer service

* The same model of product may have multiple versions, and there may be differences between different versions of the product (including functional parameters, logo design, appearance details, product information, etc.). Please refer to the actual product for accuracy

Product Overview
Product specifications
External dimensions

随着新兴太赫兹应用的大量扩展,如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,安全和监视,医疗和保健设备以及短程汽车雷达,对精确,可靠和可重复测量数据的需求比以往变得更加重这些THz

MPI TS150-THZ 工程探针台系统是一种专用的,经济高效的手动探头系统,专为基板和亚太赫兹150 mm晶圆的精密分析而设计。该系统非常稳定,具有大型探头压板和低调设计。这些基本元件中的每一个都需要支持各种RF和mmW应用,例如高达110 GHz的宽带,高达1.1THz的带状解决方案,负载牵引和RF噪声。

单机多应用设计

无缝集成各种宽带、差分、毫米波或宽带频率扩展器和自动阻抗调谐器

全新设计的扩展器、调谐器集成,可实现最大的动态测量7afce7762cdfa563ba6b6ec4de5b0d4e.jpg

最大的机械稳定性和重复性,实现方便和安全的操作


人体工程学设计

方便单手操作的,快速移动气浮式样品台设计

坚固且空间充足的工作台,可乘载大型微定位器和毫米波模块扩展器

三段式工作台快升把手设计 (contact - separation - loading),实现接触、分离和加载的高性能


弹性选配与升级

可选振动隔离支持大型自动阻抗调谐器

专用光学元件,用于缩短电缆和波导的长度,实现最大的测量方向性

各种夹头选件,印刷电路板和各种附件,如DC / RF /毫米波定位器


      直流、射频和THZ微定位器的探针板设计

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MPI探针悬停控制TM配有悬停高度(50、100或150μm), 便于探针与Pad的对准。

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世界上独一无二,最精确的接触/超大行程控制, 精度为1um,便于测量的重复性和精确性

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无缝集成任何扩频器,以在200毫米晶片上获得 最佳测量方向性


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陶瓷辅助夹头


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用于测试单个集成电路的专用ERS热夹头



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