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TSK probe station
全自动探针台| FAB厂生产线常用探针台UF3000EX

全自动探针台| FAB厂生产线常用探针台UF3000EX

Accretech UF3000系列 全自动探针台,采用与UF3000EX同样的基本结构。高精度、低成本、高性能的探针台。
Customer service

* The same model of product may have multiple versions, and there may be differences between different versions of the product (including functional parameters, logo design, appearance details, product information, etc.). Please refer to the actual product for accuracy

Product Overview
Product specifications
External dimensions

Accretech UF3000系列 全自动探针台,采用与UF3000EX同样的基本结构。高精度、低成本、高性能的探针台。


自动晶圆探测机(以下简称探测器)UF3000EX-e的设计具有以下特点,用于LSI和VLSI。


●应用于大直径晶圆(φ300 mm,高达12英寸)

●自动操作系统

●清洁环境

●高精度探测

●高通量

●低振动

●高刚度级多位点探测

  • 高吞吐量

  • 高精度

  • 低振动

  • 最佳接触,

  • 方便快捷的操作

  • 兼容性



采用新开发的专有XY驱动系统,实现了高速,低振动。
与现有产品相比,考虑到环境因设计变化而实现的占地面积小,功耗降低10%


  • 从高温到低温采用的测试环境

  • 用于测试头的铰链式机械手

  • 低噪音测试环境

  • 高压测试环境

  • 种类繁多的网络环境

  • 针道检查功能