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MPI probe station
全自动探针台| 12英寸HP高功率探针台 TS3500-HP

全自动探针台| 12英寸HP高功率探针台 TS3500-HP

MPI 的 TS3000-HP 和 TS3500-HP 是两款全新的专用探针台,用于在 -60°C 至 +300°C 的宽温度范围内对晶圆上的大功率设备进行特性分析,具有宽达 3kV(三同轴)/10k
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MPI 的 TS3000-HP 和 TS3500-HP 是两款全新的专用探针台,用于在 -60°C 至 +300°C 的宽温度范围内对晶圆上的大功率设备进行特性分析,具有宽达 3kV(三同轴)/10kV(同轴)的电压测量范围和 600A 的电流测量范围。这两个系统都可以选择对薄晶圆或 Taiko 晶圆进行测试。


这两个系统都采用了 MPI 的 ShielDEnvironment™技术,可实现超低噪声测量。凭借 WaferWallet®,TS3500-HP 是满足更高生产效率需求(高达 10 倍)以及处理全自动晶圆操作(例如 150 毫米碳化硅晶圆、200 毫米氮化镓晶圆以及 300 毫米硅锗晶圆)的理想选择


产品规格请见附件DATASHEET


1730260190b413b6.pdf

MPI-TS3500-HP-Automated-Probe-System-Fact-Sheet_00