射频探针台| MPI 8英寸 高低温手动探针台 TS200-THz
MPI TS200-THz 毫米波手动探针台
TS150-AIT和TS200-THZ探头系统为新兴THz应用扩展了MPI独一无二的系统解决方案，如高速5G通信，卫星，非侵入式光谱，安全和监视，医疗和保健设备，以及短距离汽车雷达通过在同一探测台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是业界首个明确设计的150 mm和200 mm探头系统，可为毫米波，太赫兹和自动阻抗调谐器应用提供精确测试，并具有最佳的测量方向性。
无缝集成任何带状，差分或宽带频率扩展器，最高可达1.5 THz和/或自动阻抗调谐器
扩展器/调谐器集成的新颖设计，可实现最大的测量动态
最大的机械稳定性和可重复性，以及方便和安全的操作
| 空气轴承MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手圆盘控制，通过快速的XY导航和快速的晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性，同时又通过25x25mm的XY-Theta千分尺精确移动提供了精确的定位。 |
| 带有Probe Hover Control™的独特压板提升机MPI TS200-THZ手动测头系统具有无与伦比的功能，这些都是具有高度可重复性（1 µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300 µm）和加载（3 mm）的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。如果毫米波和次太赫兹范围内的探头成本很高，则此功能尤其重要。 附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与焊盘对齐。 |
| 卡盘Z调整TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利-可以轻松快速地进行设置。 |
 | MicroPositioners的多种配置专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体->向下MP80大面积MicroPositioner。通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。 |
 | MP80-DX市场上另一个MPI开拓性解决方案–独特的MP80-DX具有Δl低至1µm的简单，精确的清晰度–是精确且经济高效的多线TRL的理想选择-多行TRL –毫米波和次太赫兹范围内唯一的RF校准方法。欲了解更多详情，请访问 MPI QAlibria ®软件。 |
 | 各种卡盘选项TS200-THZ提供多种 卡盘选件， 以满足不同的预算和应用要求，例如MPI：
所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准，尤其是在40 GHz以上的范围内。 |
 | 各种光学选项提供专用的 MPI光学元件 ，可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制，要求与DUT的距离最短，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmW应用。 |
 | 扩频器集成TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了最大程度地减少到DUT的距离并提供最佳的测量方向性，MPI引入了一种新颖的概念，将扩展器悬停在整个200 mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松，便捷和快速地重新配置。 在不同频段之间切换时，防撞保护器已嵌入到设计中，以提高安全性。 |
