探针台|MPI 8英寸大功率半自动探针台 TS2000-HP

 

MPI TS2000-HP高功率探针台

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 产品特点:

安全

带互锁功能的安全光幕可通过互锁系统关闭仪器,从而保护用户免受意外高压冲击。该系统具有后门,并由互锁保护,以提供简便的初始测量设置。

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的本地环境箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。为了防止卡盘和压盘之间产生电弧,TS2000-HP压盘是特别设计的,具有MPI高级ArcShield™。 

 高压探头(HVP

低泄漏探头专门设计用于承受高达10 kV(同轴)和3 kV(三轴)的高压。选择各种连接器选项,例如是德科技Triax / UHV,吉时利Triax / UHV,SHV或Banana。

大电流探头(HCP

高性能探针专门设计用于高达200 A(脉冲)的大电流晶片测量。MPI多指大电流探头采用单片结构,可有效处理大电流并提供低接触电阻。

 可选的防电弧液体托盘

专门设计的防电弧LiquidTray™可通过简单地放置在大功率卡盘表面上来抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内,以浸没在液体中进行无电弧高压测试。

 设定温度下的热/冷硅片互换

自动化的单晶片装载机和安全测试管理提供了在任何卡盘温度下装载/卸载晶片的独特功能。装载或卸载晶片不再需要冷却或加热到环境温度。这样可以节省大量的停机时间,并显着提高MPI测试系统的整体效率。方便的管理员登录过程可保护必要的设置。


MPI TS2000-HP具有相同的标准功能,例如热卡盘集成,Safety Test Management™,自动单晶片装载机,振动隔离以及 TS2000-SE 系统的集成探测器控制




设备简介:


MPI的自动化TS2000-HP可在宽温度范围内提供可靠的晶圆上大功率设备测量,并且测量能力高达3 kV(三轴)/ 10 kV(同轴)和600 A(脉冲)。先进的ShielDEnvironment™提供低噪声和屏蔽的测试环境。


 机台特征:


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