MPI自动探针台表征服晶圆级MEMS器件的动态特性
近期，MPI的产品营销经理 Sebastian Giessmann 与IMMS和Polytec的专家合作，为使用先进的光学测量技术在晶圆级表征MEMS器件这项尖端技术提供了宝贵的见解并发表了相关的文章。
MEMS器件在航空、汽车、生物医学、消费电子、医疗和电信行业获得了突出的地位。早期晶圆级测试对于确保高产量、可靠性和成本效益至关重要。本文重点介绍晶圆级MEMS器件动态响应测量的自动光学测量功能。将自动或半自动探针台与激光多普勒测振仪(laser Doppler vibrometer)相结合，可实现高精度和高达25 MHz 的频率带宽的实时动态响应测量。激光多普勒测振仪使用激光技术对振动结构上的速度和位移进行非接触式高精度测量。它提供了无与伦比的测量功能，具有宽频率范围和高动态范围。接下来，我们将介绍激光多普勒测振仪在表征MEMS器件中的各种应用，包括动态测试、材料参数识别、性能验证、建立时间动力学和形貌测量。我们还重点介绍了用于MEMS器件晶圆级测试的探针台解决方案。无论是手动测试还是自动测试，我们的解决方案都能在电气探测、光学分析和不同仪器的集成方面提供灵活性。我们讨论了外部振动激励的方法，以实现MEMS器件中固有频率的精确测量。阅读全文，全面了解技术组件、成功应用以及晶圆级测试站背后的原理。如需咨询或探索用于MEMS晶圆级测试的探针台解决方案，请联系易捷测试我们的团队。我们可以共同实现MEMS生产过程中更高的产量、更高的可靠性和更低的成本。
