探针台的结构是什么？

探针台是用于从半导体器件的内部节点物理获取信号的设备。探针台的主要部件有：

探测台：有一个用于固定半导体器件的卡盘和一个用于调整器件位置的平台。
微定位器：包含用于连接探针臂和探针尖端的操纵器。可以移动操纵器以将探针尖端精确地放置在设备的表面上。
探针：一种薄的针状部件，接触设备表面以获取信号。探头包括空气共面探头、半刚性探头和差分有源探头。
体视显微镜：用于放大和观察器件表面的光学仪器。您可以调整缩放、放大倍率等。
真空吸附：通过向卡盘和机械手施加气压来固定装置和探针的功能。