高低温探针台 | MPI 8英寸全自动探针台 TS2500
MPI TS2500 系列不是带装载机的工程探针台,该系列专为准确可靠的 24/7 生产测试而设计。
主要应用是DC/CV、RF、高功率或在定义的测试环境中测试MEMS和其他传感器。
TS2500-SE 采用 MPI 市场上最好的 ShielDEnvironment™,为精确的超低直流和射频噪声测量提供无与伦比的光密和 EMI 屏蔽。
自动化包括专用的末端执行器与用于 100 或 150 或 200 mm 晶圆的双晶圆盒支架相结合,提供高效的晶圆更换和更高的测试速度。TS2500 系列最高速度可达 10 个芯片/秒(取决于最终系统配置),这使其成为分立射频和高功率设备以及集成电路 (IC) 生产电气测试的理想选择。 | MPI 大功率探头解决方案包括专用的大电流探头,它使用 MPI 专有的多触点尖端来降低接触电阻。MPl的高压探头能够在高达3 kV三轴或5 kV和10 kV同轴设置以及高达600 A的高压测试期间进行低泄漏电流测量。 MPI 的大功率探针卡可悬挂高达 10 kV 的电弧,并提供高达 150°C 的独特测试可能性。 | |
TS2500 卡盘、专用暗盒、末端执行器和晶圆提升销的独特设计可以安全地处理厚度低至 50 微米的晶圆,从而能够测试具有挑战性的薄 Ill-V 化合物晶圆。 | 屡获殊荣的MPI和ERS热卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统,使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,从而与市场上的其他系统相比,将空气消耗量大幅降低至50%。 | 它是一个高性能的局部环境箱,为超低噪声、低电容测量和TS2500-SE探头系统的标准提供市场上最好的EMI和光密屏蔽测试环境。MPI 的™完全可配置部分允许多达 4 端频或多达 8 端口 DC/开尔文或这些配置的组合。 |
通过使用基于简单性和真正直观操作的新方法,MPI率先开发了革命性的多点触控探针台控制软件套件,以应对当今操作复杂探针测试系统的挑战。 MPI 的目标是显著节省培训时间,并使操作员的生活尽可能轻松,即使通过操作全自动 TS2500 系列探针台也是如此。 | TS2500 可配置 MPl 的高级射频/高功率附件,例如微定位器、射频电缆、校准基板、TITAN™ 射频探头、高功率仪器连接包、太鼓晶圆支架或防电弧液体托盘™,以确保安全准确的射频/高功率测量。 随着 VNA 与 DUT 的 集成、与KEYSIGHT 的 MPI 合作以及新的先进 校准 技术, TS2500-RF 成为 解决 RF 生产 测试 复杂 问题 的 完整 测量 解决 了 RF 生产 测试 的 复杂 问题。 |