方案简介
GBITEST硅光晶圆级测试系统用于在晶圆级进行有效分析和筛选硅光芯片性能,帮忙用户提高硅光测试效率,降低测试成本,节省研发时间。
1)易捷测试自主研发的GBITEST自动测试集成软件,实现探针台与多种测试仪表的集成,硅光测试应用版本可实现晶圆级硅光芯片的自动测试。
2)可选最大200mm或300mm晶圆测试探针台,支持多种类的硅光测试应用(O-O, O-E, E-O, E-E)
3)高精度快速多通道光学对准系统,提供单光纤和光纤阵列耦合方案,保证耦合精度和重复性。
4)提供业界最宽的-50°C~200°C硅光晶圆测试温控范围,以及专利的针座平台开口式负温测试设计。
5)独特的防撞和测高机制,可确保安全操作
6)创新的测试工具概念可极大满足用户现场灵活多样的测试需求,实现完整的参数测试内容和多领域在片测试应用。
7)便捷的载片台移动控制,专业的可视化界面、向导式的操作指引和可拖拽式的编程方式,提高测试工程师的测试效率。