高低温探针台| MPI 8英寸高低温半自动探针台TS2000-SE
MPI TS2000-SE 高低温半自动探针台

产品特点:
适用于多种晶圆量测应用 • 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV • 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上 • 失效分析 - 探针卡 / 节间探测 • 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试 • 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境 • 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境 • 支援飞安级低漏电值量测 • 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C
工效学设计及弹性选配 • 便利的晶圆单片上片,搭配简单快速的晶圆预对准功能,实现自动化流程简单化 • 垂直点测控制环境 (Vertical Control Environment, VCE™),方便安全有效地侧面观察点测区域 • 内建防震系统 • 完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作 • 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™) 选配,方便在任意温度进行上片/下片,并自动进行露点控制
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设备简介: MPI探针台 TS2000-SE是市场上首款晶圆200 mm自动化工程探测系统,MPI半自动探针台集成了专为降低测试成本而设计的创新功能。这些功能集成在MPI ShielDEnvironment™中,可实现超低噪声,非常精确和高度可靠的DC / CV,RF和高功率测量。 |
机台特征:
