探针台|晶圆测试光传感器CIS / ALS /SPAD 半自动探针台|SG-O系统集成

型号:SG-O  

光学传感器晶圆级测试探针台系统 SG-O是一款CIS、ALS、SPAD、Light-Sensor 晶圆级测试设备Wafer-Level Optical Testing)它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可提供从400nm到1700nm连续白光光谱,若在许多不同波长下具有一定FWHM的单色光输出。SG-O可以处理200mm~10mm晶圆或芯片,也集成了超低噪音热卡盘(Thermal Chuck),提供-60°C 至 180°C的宽温度范围。SG-O提供您在CIS/ALS/SPAD/光传感器晶圆设计验证或工艺良率检查中所需的一切。




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高度均勻的光源


项目规格
光谱范围400nm 至 1700nm
色温3000K 至 5200K
均匀照明面积42mm x 25mm,工作距离 >200mm
照度均匀度优于98%
短期光不稳定性≤ 1% 超过 1 小时
长期光不稳定性≤ 1% 超过 10 小时
工作距离≥200mm
单色光生成可订制
可变衰减器PC 控制的 3-decade 分辨率,至少 1000步


半导体晶圆探针


晶圆尺寸能力200mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片
晶圆处理单晶圆,手动进料型,半自动进料型
半自动化一步手动对准教和自动模步进



SG-O是一套结合高均匀度单色光源系统(400nm - 1700nm)和“自动晶圆探针台”,针对ALS/CIS/SPAD/光传感器芯片的测试解决方案。SG-O不仅可以处理标准8英寸(200mm)晶圆, 也可以扩展处理12英寸(300mm)晶圆和大于1cm x 1cm的芯片(Die)。此外,该方案还集成了超低噪音热卡盘(Thermal Chuck),温度范围涵盖-60℃ ~ 180℃,可快速升温、稳定性高。SG-O提供您在CIS/ALS/SPAD/光传感器晶圆设计验证或工艺良率检查所需要的一切。



适用范围


SG-O适用各种传感器测试分析,包含:
- ToF传感器测试
- InGaAs PD测试
- 激光雷达传感器测试
- 光传感器模拟参数测试
- CIS/ALS/光传感器晶圆测试
- CIS/ALS/光传感器晶圆和良率检查
- 单光子雪崩二极管(SPAD)传感器测试

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