CMOS图像传感器测试系统


全球首台商用Image Sensor测量测试解决方案


适用于半导体领域:IC设计、封装微组装测试、模组设计

应用于:CMOS/ALS、LIDAR


完全符合图像传感器测试国际标准EMVA(European Machine Vision Association)


不仅可用来进行物理层面(表现缺陷检测)也可以用来进行功能测试(环境光下的芯片转换效率好坏) 。SG-A可提供最全面的CMOS图像传感器参数报告,如全谱量子效率QE、整体系统增益、时间暗噪声、信噪比、绝对灵敏度阈值、饱和容量、动态范围、DSNU、PRNU、线性误差和主光线角CRA。


被测目标可以是多种类型的CMOS图像传感器模块。SG-A CMOS图像传感器测试仪可用于晶圆级光学检测、工艺参数控制、微透镜设计和验证。


可测量参数

  • 波长范围:350~1100nm

  • 光斑大小及稳定度:10X10mm,>99%

  • 高度准直光束(<1O)可以克服传统光学系统(如积分球系统)无法解决的新制造工艺的检测难点(如:小像素<1um、BSI和3D堆叠、微透镜、新的拜尔阵列设计等)。



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*无损光学检测。

*高度准直梁角 /高准直波束角<0.05 ,<0.1 <0.5 ,<1,9<3 (不同型号)

*高均匀光束点: 99%

*光的不稳定性1%

*高动态范围测试能力:80dB~140dB(不同型号)。

*可以测试CMOS图像传感器参数。量子效率、光谱响应、系统增益、灵敏度、动态范围、暗电流/噪声、信噪比、饱和容量、线性误差(LE)、DCNU(暗电流不均匀性)、PRNU(光响应不均匀性)、CRA

*全光谱波长范围:300nm-1100nm350nm~1000nmPTC)。

*波长可扩展至1700纳米以上。

*DUT 封装:CIS 模块,PCB 板级,CIS 摄像头,有/无微透镜。

*SG-ADUT之间的 “直接 “ “握手 “通信协议。

*定制的测试夹具和平台(手动或自动,最多6轴)。

*功能完整的分析软件ARGUS®

*应用:指纹识别(CIS+镜头,CIS+准直器,TFT阵列传感器)CIS的微透镜设计,晶圆级光学检测,CIS DSP芯片算法开发,Si TFT传感器面板,飞行时间相机传感器,接近传感器(量子效率,灵敏度,线性度,SNR等),d-ToF传感器,i-ToF传感器,多光谱传感器,环境光传感器(ALS),指纹显示(FoD)传感器。