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晶圆DC直流器件的全自动测试应用

方案简介



测试指标（配合半导体参数分析仪）：

  • 器件的I/V参数提取

  • 芯片的CV参数测试

  • 脉冲参数提取





直流测试MPI探针台_01


特征与优势



TS3000 部分测试结果

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