全自动晶圆挑片分选机 AP-1800


挑片机


功能

挑片应用:wafer to tray

自动上下料,设备按照输入的Mapping图及AOI检查判定产品,自动分拣芯片

特点

全自动系统、视觉定位系统,直线电机驱动:分拣精度高,速度快

AOI检查系统,挑片过程中检查芯片外观,自动识别形貌

Bond Force Control

支持对三五族,MEMS以及具备空气桥结构芯片的挑选,支持MPW

提供设备功能、治具定制及服务

Options

2-step sorting:双分拣装置,分步挑片

Air Ejector:对应超薄产品,芯片厚度≥20μm

RCID识别功能





项目


规格参数

wafer尺寸


4、6、8inch   Option:12inch


芯片尺寸

0.5x0.5mm~20x20mm  Option:0.3x0.3mm


芯片厚度

≥100μm  Option:≥20μm


放置精度

≤ ±0.05mm/≤ ±0.5°   Option:≤ ±0.025mm


分拣速度

≤ 1.8s/chip at 2x2mm Die


放置区容量

4、6、8inch  Option:12inch


设备尺寸

1800(W)x1000(D)x1650(H) mm