射频MEMS芯片测试解决方案

射频微电子机械系统（RF-MEMS）是一种基于MEMS的射频无源器件，与传统的微波器件相比，它具有许多优点，包括提高隔离度、降低功耗、降低成本、尺寸和重量。其中最成功的是RF-MEMS开关。 Rfmems技术可用于智能手机、移动基础设施、物联网和国防等领域的各种无线通信应用。它们可用于天线调谐、阻抗匹配、天线波束形成、相移以及为软件可定义无线电（SDR）开发可调谐滤波器。

测试需求

• 单个芯片如何变成Wafer

• 如何避免单个芯片在挑选过程中的位移

• 如何实现二次成片后的Wafer自动射频测试

• 如何面对未来大批量的测试数据一体化管理

我们的系统可实现



1. Wafer to Wafer

2. Wafer to Tray

3. Tray to Tray

4. Tray to Wafer

系统集成

系统集成测试软件：同时满足研发和量产

每个die支持两种坐标系表达方式、支持测试序号表达方式、支持文本导入、多种格式输出，支持256中分bin设置；支持MAP实时刷新显示。

等间距die设置 不等间距DIE设置 Subdie设置 区域设置 断点续测

• 自主产权的全中文操作软件，具备数据采集及分析功能，使用更方便，更快适应并投入量产电气、控制采用独立模组，运行更可靠，维护更便捷。

• 电气、控制采用独立模组，运行更可靠，维护更便捷。

• 支持DC~750G的射频测试及各种毫米波模块搭载

• 可兼容多家扩频模块的搭载

• 国内首创可兼容搭载思仪扩频，实现毫米波器件测量

• 为国内多个芯片类重大专项的验收，提供帮助

• 获国家专利