晶圆 2D/3D AOI 检验显微镜

进料的wafer，经过正反面目检和显微镜正面micro检查，进行检查和分选。操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer。

性能描述：

标准配备1个Load port，单臂翻转Robot，Pre-aligner，目检台和显微镜。

• 兼容8寸和12寸wafer

• 标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖，具备mapping功能

• 高精度运动机构，低噪音，低尘，无需供油。

• 触摸屏操作,界面友好。
  

• 对应GEM300，采用SEMI标准软件

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