全自动芯片挑片分选机 WBS-300


300 WBT



功能:

  • 挑片应用:wafer-wafer,wafer-tray,tray-wafer,tray to tray 之间的挑片。

  • 自动上下料,设备按照输入的Mapping图及AOI检查判定产品,自动分拣芯片。

特点:

  • 多功能全自动挑片系统,支持各类挑片方式

  • 视觉定位系统,直线电机驱动:分拣精度高,速度快

  • AOI检查系统,挑片过程中检查芯片外观,自动识别形貌

  • Bond Force Control

  • 支持对三五族,MEMS以及具备空气桥结构芯片的挑选,支持MPW

  • 提供设备功能、治具定制及服务


Options:


  • 2-step sorting:双分拣装置,分步挑片

  • Air Ejector:对应超薄产品,芯片厚度≥20μm



项目


规格参数

WAFER 尺寸:


12inch   Option:8inch

TRAY 尺寸:


2、4inch

芯片尺寸:


0.5x0.5mm~20x20mm    Option:0.2x0.2mm~25x25mm

芯片厚度:


≥50μm   Option:≥20μm

放置精度:


≤ ±30μm/≤ ±0.5°   Option:≤ ±15μm

分拣速度:


≤ 1.0s/chip at 2x2mm Die

设备尺寸:


2500(W)x1900(D)x1800(H) mm