半自动探针台|高功率探针台| TS3000-HP
产品简介：
TS3000-HP 是 MPI 新的专用探针台，用于在宽 -60°C 至 +300°C 的温度范围和宽 3 kV （三轴） / 10 kV （同轴） 和 600 A 测量范围的晶圆#HighPower 对高功率芯片特性进行测试。该系统可以选择在薄晶片或TAIKO晶圆上进行测试。并为超低噪声测量集成了MPI的 SHIELDEnvironmentTM和WAFERWALLET 。
产品特点：
专为高压、高电流应用而设计 • 在晶片大功率设备上测量高达10kV/600A • 镀金卡盘表面的最小接触电阻和真空孔优化的薄晶 圆处理至50µm • Taiko晶圆壳牌选项 • 专用的高压、高电流探头 • 抗弧解决方案 | MPI屏蔽环境™ ，用于精确测量 • 为高级EMI/RFI/光紧屏蔽而设计 • FA低泄漏能力 • 准备好适应温度范围-60°C至300°C | 人体工程学设计与安全 • 简单的晶圆或单个DUT加载从前面 • 监管部门批准的安全联锁灯帘来保护用户 • 集成式主动隔振装置 • 完全集成的支撑器控制， 以实现更快、更安全、方 便的系统和测试操作 • 安全测试管理 (STM™) 选项，可在任何吸管温度下 加载/卸载晶圆和自动露点控制 |
