射频探针台| MPI 8英寸毫米波手动探针台 TS200-THz

MPI TS200-THz 毫米波手动探针台

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TS150-AIT和TS200-THZ探头系统为新兴THz应用扩展了MPI独一无二的系统解决方案,如高速5G通信,卫星,非侵入式光谱,安全和监视,医疗和保健设备,以及短距离汽车雷达通过在同一探测台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是业界首个明确设计的150 mm和200 mm探头系统,可为毫米波,太赫兹和自动阻抗调谐器应用提供精确测试,并具有最佳的测量方向性。

  • 无缝集成任何带状,差分或宽带频率扩展器,最高可达1.5 THz和/或自动阻抗调谐器

  • 扩展器/调谐器集成的新颖设计,可实现最大的测量动态

  • 最大的机械稳定性和可重复性,以及方便和安全的操作



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空气轴承

MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手圆盘控制,通过快速的XY导航和快速的晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时又通过25x25mm的XY-Theta千分尺精确移动提供了精确的定位。


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带有Probe Hover Control™的独特压板提升机

MPI TS200-THZ手动测头系统具有无与伦比的功能,这些都是具有高度可重复性(1 µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300 µm)和加载(3 mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。如果毫米波和次太赫兹范围内的探头成本很高,则此功能尤其重要。

附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与焊盘对齐。


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卡盘Z调整

TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利-可以轻松快速地进行设置。

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MicroPositioners的多种配置

专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体->向下MP80大面积MicroPositioner。通过将两个南北“电桥”作为标准配置,可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

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MP80-DX

市场上另一个MPI开拓性解决方案–独特的MP80-DX具有Δl低至1µm的简单,精确的清晰度–是精确且经济高效的多线TRL的理想选择-多行TRL –毫米波和次太赫兹范围内唯一的RF校准方法。欲了解更多详情,请访问 MPI QAlibria ®软件。

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各种卡盘选项

TS200-THZ提供多种  卡盘选件, 以满足不同的预算和应用要求,例如MPI:

  • 带BNC连接器的标准RF卡盘

  • 专用mmW卡盘,完全内置具有高导热率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷,甚至

  • ERS AirCool射频卡盘(从20°C到200°C或更高),带有集成的镀金顶面和小的真空孔

所有卡盘都有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的RF校准,尤其是在40 GHz以上的范围内。

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各种光学选项

提供专用的  MPI光学元件  ,可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光学变焦高达12倍,工作距离超过45毫米。由于集成扩频器固有的空间限制,要求与DUT的距离最短,因此这种显微镜的体积小,非常适合RF和mmW应用。

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扩频器集成

TS200-THZ集成了全新的扩频器集成设计。为了最大程度地减少到DUT的距离并提供最佳的测量方向性,MPI引入了一种新颖的概念,将扩展器悬停在整个200 mm晶圆上。新型TS200-THZ探针台的附加关键功能是轻松,便捷和快速地重新配置。

在不同频段之间切换时,防撞保护器已嵌入到设计中,以提高安全性。