晶圆光学检测设备
检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求 |
从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的最大样品高度为254 mm，最大横向样品空间为300 mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。 |
高性能、高性价比 | 可靠的结果 | 数字集成 |
它具有优异的可用性和先进的自动化功能，是要求日常任务的理想选择。相比起更先进的光学显微镜，它兼顾强大的性能与经济的价格 。 | 使用带编码的组件和先进的光学技术，Axioscope 提供可靠的，可再现的结果。此外，自动化的Axioscope7 能够使您的工作流程完全自动化-所以它能很快成为实验室的得力助手。 | 靠着Axiocam系列相机和ZEN 2 core成像系统，Axioscope成为一个强大的数字文档系统。从设备控制-到图像采集、分析以及储存您的分析数据，Axioscope提供了一个完全数字化的工作流程。 |
具有两种手动机柱和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜的最大横向样品空间300 mm x 300 mm和最大样品高度254 mm的优势。
Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析敏感样品
Axio Imager Vario已通过DIN EN ISO 14644-1认证，并满足5级洁净室的应用要求。