基于X射线的晶圆级抗辐照电路测试系统

基于X射线的晶圆级抗辐照电路测试系统是由深圳市易捷测试技术有限公司设计开发。采用10keV X射线作为辐射源开展效应试验，不仅易于实施，节省资金，在器件封装前即可对器件的抗辐射水平给出评估，是一种可行的评估器件总剂量水平的手段。

10keV X射线辐射源系统可以用于完成：

• 特定结构器件的基本辐射响应分析

• 用过实验结果跟踪给定工艺的加固情况

• 迅速提高批量生产的芯片的加固情况反馈。

相对60Co γ射线辐射源而言，基于X射线的晶圆级抗辐照电路测试系统体积小，占地面积小，适合于实验室与工厂的生产线上使用，而且操作简单，调节方便，通过面板进行参数设置与操作，可精确控制辐射剂量率，且可调辐射剂量率范围较大。设备安全性好，仪器周边的辐射量与普通环境无差别。

安全、高效、稳定的晶圆级抗辐照电路测试：