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MPI 12英寸全自动探针台 TS3500-SE

 
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MPI TS3500全自动300mm探针台



产品特点:


1,专为多种晶圆测试应用而设计

  • 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV,ESD,1/f

  • 射频、毫米波、射频频率可设置可从26GHz到 110GHz或更高。

  • 晶圆级可靠性-用于精确的压力和测量条件

  • 领先的测试执行软件套装的驱动程序


2WaferWalletTM 操作平台

  • 设计有五个单独的托盘,可按人体工学方式手动装载150、200或300毫米的“模型”晶圆

  • 在多个温度条件下全自动测试可多达五个相同的晶圆

  • 有在任何温度下装载/卸载晶片的独特能力



3ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

  • 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量测环境,以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果

  • 支援 fA 级超低噪 IV 量测

  • 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

  • 具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C  300 °C

3,工效学设计及弹性选配

  • 从正面轻松放置晶片或单个DUT

  • 内建防震系统

  • 完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量测操作

  • 安全测试管理系統 (Safety Test Management, STM™)选配具自动进行露点控制功能

  • 预留制冷机组空间,节省空间不占位

  • 仪器架选配,可缩短射频电缆之架设长度,提供最高的量测机能


设备简介:


TS3500和TS3500-SE 在功能上与MPI著名的已建立的  TS3000 和  TS3000-SE  300毫米探针台具有相同的功能,通过配置或升级MPI独特的WaferWallet™,可以实现全自动功能。MPI的解决方案通过提供比其他供应商的半自动化产品更少的完全自动化功能,降低了客户的总体测试成本。


机台特征:


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